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Nano X-2000是用于表面结构测量和表面形貌分析的一款检测设备,既可以用于科学研究,也可以用于工业产品的检测。Nano X-2000表面微观形貌仪建立在白光扫描干涉技术和移相干涉技术的基础上,以其较高的精密度和准确度定性和定量地反映出被测件的表面粗糙度、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。适用于半导体工艺、航空航天、MEMS、超精密加工等领域,在纳米尺度进行超精细表面形貌的测量。

 

Nano X-2000三维表面微观形貌检测仪主要由精密载物台、照明系统、光学干涉成像系统、实现移相运动的微位移系统、图像采集系统及图像数据处理系统等组成。整个检测仪放置在气浮抗振平台上。载物台用于安放被测件,同时通过倾斜和XY二维平移调整使被测面精确定位于感兴趣的区域;光源及照明系统提供给被测面均匀又充分的反射式照明;干涉成像系统采用Mirau干涉物镜结构获取被测表面干涉图像;采用压电陶瓷传感器(PZT)实现微位移控制;通过CCD与自主开发的软件系统采集并处理干涉图像,获得被测面的相位信息进而得到表面轮廓。

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