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3D光学干涉轮廓设备——NanoX-8000




图片1.jpgNanoX-8000干涉轮廓设备采用垂直扫描干涉和移相干涉技术,实现对样品表面粗糙度、台阶高度、表面轮廓、关键部位及其形貌特征的纳米级三维精密测量。广泛应用于集成电路制程、先进封装、MEMS、材料表面工程、新型显示技术、高效太阳能电池技术、新型微流控技术、高端通信产业、航空航天、超精密加工等领域。

  • 1、PSI+VSI+CSI+XSI  3D干涉测量模式

  • 2、原色缺陷观察、各种几何尺寸测量2D模式

  • 3、测量准确度重复性达到世界先进水平

  • 4、关键硬件采用美国、德国、日本等知名品牌

  • 5、PCB基板在线测量专用软件

  • 6、高性价比微观形貌测量设备

  • 7、迅捷、高效的优质售后服务

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PCB基板生产工艺在线测量应用

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中国计量院认证书

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国内数家知名上市企业PCB基板生产线
配置NanoX-8000 3D干涉轮廓设备


满足您需求而设计的测量设备
覆盖范围广
兼容多种测量和观察需求
保护性
非接触式光学干涉测量
可操作性
“一键式”操作更简单、更高效
智能化
特殊形状智能计算特征参数
个性化
定制化测试报告

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